PSM-LN2液氮高低温真空探针台
Adgarde液氮高低温真空探针台PSM-LN2是一款专门针对高低温真空电测环境开发的探针台，能够对2寸晶圆片进行重复非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量和RF测量。
特点
液氮存储式探针台，内置液氮0.4L液氮储槽，使用方便快捷，同时兼顾经济性，可以在15分钟内快速冷却样品
探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。探针臂可在X-Y-Z-R范围内进行位移调节，能满足2英寸的扎针测试
真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰提高测试的精准度和稳定性
探针臂采用三同轴电缆，漏电性能好，漏电流在100fA以内
独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏
标准配置
真空腔体
| 真空腔体 | |
| 腔体容积 | 4L |
| 腔体材质 | 铝合金 |
| 密封方式 | O圈 |
| 窗口可视范围 | 50mm |
| 真空度 | 5*10-4mbar |
| 抽真空接口 | KF25法兰 |
真空腔容积4L，通过O圈和CF法兰密封，真空度能够达到5*10E-4 mbar，见上表
透明石英窗口可视直径50mm，可以通过显微镜观察样品扎针情况
翻盖设计，方便快速换样
真空腔材质为无磁材料，能够有效减小外界的电磁干扰从而大大减小测试时外界噪声对电测的干扰，提高测试的精度和稳定性
不锈钢压防辐射屏，隔绝热辐射
探针台如何绝热
温度计——探针冷却到样品台的温度来减小待测样品的热载。3个温度计分别放在样品台，探针臂，防辐射屏上，来提供一个准确的控温环境。
探针补偿——热管理的探针臂意味着做变温实验时探针移动必须做热补偿，如果没有探针的热补偿，变温实验时就会产生明显的探针移动，可能导致探针离开接触点
2英寸样品座
样品座大小为2英寸，可容纳2英寸样品
标配4个直流探针臂，可以X、Y、Z、R四个维度进行位移调节
可以真正实现在2英寸样品上任意位置扎针测试
根据测试需求，可选多种样品座，包括：接地样品座、同轴样品座、三同轴样品座
接地样品座
直接放在样品台上来减少样品的热梯度；探针台底端电学接地
光学样品座
任何一个光学样品坐都有一个5mm 的光孔，用来样品背部通光
同轴样品座
样品表面电学绝缘，底部可加偏压。底部有一个BNC接头
三同轴样品座
样品表面电绝缘，在样品表面和接地之间有一个电绝缘的Guard保护层，底部有一个Guard保护和一个三同轴接头
| 样品座 | |
| 材质 | 无氧铜 |
| 尺寸 | 2英寸 |
| 类型 | 接地样品座 |
| 可选配置 | 光学样品座、同轴样品座、三同轴样品座 |
探针臂
标配4个直流探针臂，匹配阻抗50欧姆，能够兼容升级为射频探针臂
标配4个直流钨探针，针尖直径100um，可通信号频率直流到50MHz，通过螺钉固定，拆装非常方便
探针臂采用SMA接头和同轴线缆，通过4200在真空下10V激励测试，漏电流在100 fA以内
探针臂可以X-Y-Z-R位移，X-±25mm，Y-±6.25mm，Z-±6.25mm，R-±10°，移动精度为10um，旋转精度0.01°，可以满足全部2英寸范围的扎针
| 探针臂 | |
| 类型 | 直流探针臂 |
| 数量 | 4个 |
| 接头和线缆 | 三同轴接头 |
| 漏电电流 | 100fA@1V真空环境 |
| 信号频率 | 直流~50MHz交流 |
| 匹配阻抗 | 50Ω |
| 探针针尖直径 | 100μm铍铜探针 |
| 位移行程 | X-±25mm，Y-±6.25mm，Z-±6.25mm，R-±10° |
| 位移精度 | 10μm |
| 温度选项 | PT100温度传感器（安装在其中一个探针臂） |
光学系统
光学系统包括显微镜、显微镜支架、CCD相机和显示屏等组件构成可以对待测器件观测并放大，在显示屏上呈现
显微镜带有LED环形光源，配合CCD相机，可以将待测器件放大10~180倍
CCD相机分辨率3800万像素，有拍照、录像等功能，可以将照片、视频通过数据线传输到电脑端
可视分辨率可达3um以内，与市面上先进的探针台光学系统相当，测试方法采用1951分辨率测试靶
探针台选件
探针
Adgarde提供钨和铍铜两种材质的探针，其中钨探针更耐用，适合各种不同的接触面，硬度好，能刺穿氧化层；铍铜探针接触电阻更小，适用于和镀金电极的接触。
| 探针型号 | 针尖材料 | 针尖直径 |
| PT-06-LT-W | 钨 | 6 微米 |
| PT-10-LT-W | 20微米 | |
| PT-50-LT-W | 50微米 | |
| PT-100-LT-W | 100微米 | |
| PT-06-LTBECU | 铍铜 | 6微米 |
| PT-10-LTBECU | 20微米 | |
| PT-50-LTBECU | 50微米 | |
| PT-100-LTBECU | 100微米 |
| 材质 | 钨 | 铍铜 |
| 特点 | 通用，耐用 | 通用，低电阻接触 |
| 应用 | 适用多种接触面，能刺穿氧化层 | 常用于金电极扎针 |
| 导电性 | 好 | 更好 |
| 接触电阻 | 低 | 更低 |
| 使用寿命 | 长 | 长 |
样品座
Adgarde提供各种类型的样品座可选，见下表：
| 名称 | 型号 | 尺寸 | 描述 |
| 接地样品座 | LTSH-2-G | 2 英寸 | 探针台标配样品座，样品座电学接地 |
| 绝缘样品座 | LTSH-2-I | 2 英寸 | 样品座表面绝缘，样品放置在样品座上时不会和地导通 |
| 光学样品座 | LTSH-2-O | 2 英寸 | 样品座电学接地，带光学通孔 |
| 同轴样品座 | LTSH-2-C | 2 英寸 | 样品表面电学绝缘，底部可加栅压；侧边带有 BNC 接头 |
| 三轴样品座 | LTSH-2-T | 2 英寸 | 样品表面电学绝缘，样品表面和接地之间有 Guard 保护层，从而降低漏电电 流；侧边带有三同轴接头 |
