在高校科研实验室对于那些精密微小（纳米级）的微电子器件，要去测试它的基本电学性能（如电流、电压、阻抗等），配有显微镜的高精度探针台能够提供良好的电测环境，通过显微镜和CCD将待测器件放大，用高精度微探针对待测器件进行扎针，再外接电学测试仪表进行测试和分析。对于一些需要在高低温环境中测试的细小器件，那么这款液氮高低温真空探针台PSM-LN2就是实验室的选择。
液氮高低温真空探针台是什么？
液氮高低温真空探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-800K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。
为什么要选择这款液氮高低温真空探针台？优势在哪里？特点是什么？第一，温度范围宽：80K--800K；第二，15分钟腔体真空度可达到10-4 torr；第三，探针臂可进行X/Y/Z/R四维调节，满足2寸晶圆片任意位置测试；第四，优越的漏电流性能：小于100fA@1V@80K--800K；第五，液氮消耗量小：降到最低温度只需0.2L液氮；第六，真空上盖采用翻折结构，支持快速换样。
高校科研实验室优选液氮高低温真空探针台设备
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创建时间：2023-12-06 09:14
