PSM-VR系列手动真空探针台
随着电子技术的不断发展，对于精密微小（纳米级）的微电子器件，要去测试它的基本电学性能（如电流、电压、阻抗等）时配有显微镜的高精度探针台能够提供良好的电测环境。通过显微镜和CCD将待测器件放大，用高精度微探针对待测器件进行扎针再外接电学测试仪表进行测试和分析。此外，对于一些怕氧化、需要保存在真空中、即便在电学测试的过程中也需要置于真空环境中的器件，室温真空探针台是这种样品测试的不二选择。
室温真空探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个室温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于室温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。（我们可定制PSM-VR-4、6、8、12寸探针台）
样品座可以进行XY二维±50mm的移动，避免测试过程中探针臂移动幅度过大，切换测试样品便捷。
样品座和探针臂的位移调节均在真空腔外操作，因此可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。
真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性。
探针臂采用三同轴接头和同轴线缆，漏电性小，漏电流在100fA以内。
系统组成
标准配置
室温真空腔
真空腔容积9L，通过O圈密封，真空度能够达到10-5 mbar
可视窗口直径100mm，可以通过显微镜观察样品扎针情况
真空腔为铝制材料，能够有效减小测试时外界噪声对电测的干扰，提高测试的精确度和稳定性
带有6个探针臂接口
样品座
样品座大小为4英寸，可容纳4英寸样品
样品座可以在X、Y两个维度进行±50mm位移调节，在换样扎针时可大幅度减小探针臂比的调节幅度
标配4个直流探针臂，可以X、Y、Z三个维度进行位移调节配合样品座的位移，可以真正实现在4英寸样品上任意位进行扎针，能够扎到1英寸的样品
样品座和探针臂的位移调节均在真空腔体外部操作，因此可以在不破坏真空的情况下，切换样品座上的不同器件进行测试，非常方便
探针臂
标配4个直流探针臂，匹配阻抗50欧姆，能够升级为射频探针臂
探针臂上装有SMA接头，便于接线的通断；探针臂可以90度抬起，避免换样时样品与探针臂干涉
探针可通信号频率范围直流到50MHz，通过弹簧压紧固定，拆装非常方便
探针臂采用三同轴接头和同轴线缆，通过泰克4200在真空下1V激励测试，漏电流在100fA以内
探针臂可以XYZ三轴移动，X轴行程±15mm，Y轴±10mm，Z轴行程±6.5mm，移动精度为10um
光学系统
光学系统包括显微镜、显微镜支架、CCD相机和显示屏等组件构成，可以对待测样品观测并放大，在显示屏上呈现。
显微镜带有LED环形光源，配合CCD相机，可以将待测器件放大10~180倍
CCD相机分辨率3800万像素，有拍照、录像等功能，可以将照片、视频通过数据线传输到电脑端
可视分辨率可达3um以内，与市面上先进的探针台光学系统相当，测试方法采用1951分辨率测试靶
探针台选件
探针
Adgarde提供钨和铍铜两种材质的探针，其中钨探针更耐用，适合各种不同的接触面，硬度好，能刺穿氧化层；铍铜探针接触电阻更小，适用于和镀金电极的接触。
样品座
Adgarde提供各种类型的样品座可选，见下表：
