PSM-PM系列手动永磁铁探针台

随着电子技术的不断发展，对于精密微小（纳米级）的微电子器件，要去测试它的基本电性能或磁性能，就需要有一种高精度探针座，通过显微镜将被测元件放大，用高精度微探针进行扎针，外部连接测试主机进行测试和分析。

Adgarde 室温磁场探针台（PSM-PM-4）为样品材料在磁场下提供一个测试环境，外部连接测试主机可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数。还可以在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。（我们可定制PSM-PM-2、4、6、8寸探针台）

稳定的双位移调节系统

1.样品座可以放置8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±50的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试和换样更加便捷。

2.探针臂底座采用螺钉固定，可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，并且可以360°旋转，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到样品的任意位置。

极小的漏电性

1.探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线

2.探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电

霍尔测量便捷易操作

1.无需将线连接到样品上（在传统霍尔测量系统需连接），就可以探测直径高达51mm的完整或者部分晶片，无需再将晶片切成块状结构。

独特的配置

样品台

光学系统样品座可以放置8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下 CCD放大倍数可达180倍，并附有环形光源，屏幕分辨率高，面的滑台，可以实现X-Y轴±50mm的超大移动行程，使得样使得图像清晰可见，可实现100nm的扎针。并且CCD支架有工作和品测试和换样更加便捷；样品座本身可以进行三个轴上非工作两种摆放位置。（X-Y-Z）的精细调节，配合探针臂的移动，可以使得四个探针扎到样品的任意位置；样品座外层镀金，电导率性能光学系统好；多孔吸附，对各种形状的样品固定都非常稳定，同时显微镜放大倍数 10-180倍又不会造成对测量的干扰。

光学系统

CCD放大倍数可达180倍，并附有环形光源，屏幕分辨率高，使得图像清晰可见，可实现100nm的扎针。并且CCD支架有工作和非工作两种摆放位置。

探针臂

探针臂底座采用螺钉固定，避免了真空吸附在不开启真空泵既无法固定的问题，同时探针臂可以在X-Y-Z三个轴上进行调节，并且可以360°旋转，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到样品的任意位置，探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线。

永磁铁组件

永磁铁组件包括永磁铁、永磁铁前后运动电机控制装置、永磁铁的翻转装置和磁场中心位置定位激光点。永磁铁前后运动电机控制装置实现自动控制磁铁前后运动和N.S自动翻转，并且步进电机低速零震动、噪音极小、抗干扰能力强，在电网恶劣环境，也可实现高精度定位。磁场中心位置定位激光点可以把测试样品定位于磁场中心均匀区。

PM系列恒定磁场永久磁铁具有无需电源供电,长期使用不发热，体积小，重量轻等特性。由于磁场稳定，可做标准磁场使用。如果需要不同磁场大小或者是扫描磁场，可以选择我们的电磁铁探针台。