PSM-HR系列高分辨率手动探针台
PSM-HR高分辨率探针台，能够对2寸、4寸、6寸、8寸、12英寸超小芯片、晶圆等器件进行非破坏性的、标准的电学实验外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。另外可搭配激光仪器使用，是高精度实验研究的佳选择。（我们可定制PSM-PM-4、6、8、12寸探针台）
特点
采用金相高精度显微镜，能识别0.1μm的Pad点
样品座可以放置12英寸的晶圆样品
移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±50mm的移动行程，使得样品测试和换样更加便捷。
可安装6个探针臂
探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针可以扎到样品的任意位置。
探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，
在100fA以内
CCD放大倍数为50-1000倍，工作距离为100mm
滑台和样品座均采用真空吸附固定。
参数和指标
样品座
卡盘尺寸2/4/6/8/12英寸，可定制
材质 铝合金镀金
样品固定方式 多孔吸附
滑台
X-Y移动行程 X-±50mm，Y-±50mm
移动精度 10μm
探针臂
固定方式：磁铁吸附
XYZ微调移动行程：XYZ-13mm
微调可分辨精度：1μm
探针臂数量 可安装6个探针臂（左右各3个）
电学线缆 三同轴线缆
漏电流 100fA
探针类型 直流探针
光学系统
显微镜放大倍数 50-1000倍
显微镜工作距离 90-100mm
CCD相机分辨率 彩色2000万像素
可加选件
光学平台
直流探针
样品座
屏蔽箱
可选联用设备
M81同步源和测量模块
M91快速霍尔测量仪
155精密I/V源
激光仪器
