霍尔系统配套设备
室温永磁铁夹具平台
此款设备主要用于样品的室温霍尔测试，可以提供Fasthall和DC法霍尔测试环境，采用的PCB 插拔样品卡设计配合霍尔测量仪器，可以完成范德堡和霍尔巴样品的测试，桌面式结构设计，最为通用的测试选件，极高性价比，是霍尔测试的不二选件。
磁场优于 0.7T（高 0.8T）
磁铁通过滑轨移动，并且可以翻转
样品卡包含探针和焊接
科学合理的共地设计
测试腔有气路阀门，可通入氮气、氩气进行保护，也可抽取真空
可增添低温选件，测试液氮单点下的霍尔参数
组件
室温接线盒组件一个，包含室温接线盒和PCB导向装置
永磁体一个（极头间距20mm，磁场强度不小于0.7T）
计算机控制系统一套，包含一体机、显示器及支架
1米长三同轴电缆6根
样品卡包一套，包含：25mm四探针弹簧样品卡一个；25mm四探针弯折样品卡一个；10mm焊接样品卡4个10mm带标样的焊接样品卡1个
选件
77K液氮单点选件包：
77K接线盒组件一套，包含77K接线盒和PCB导向装置，
77K液氮盒一个，腔体带真空夹层，用于盛放液氮做液氮单点实验，
77K永磁体一个（极头间距30mm，磁场强度不小于0.5T），
77K地线包
AOV-ST-L液氮高低温恒温器
AOV-ST-L液氮高低温恒温器可以给样品提供一个变温的环境，搭配快速霍尔测量仪、永磁铁及运动装置可以测试变温下的霍尔参数。AOV-S-L恒温器可提供78K到800K连续变温，为既需要低温又需要高温的科学实验提供了极大的便利。这是一款性价比极高，也是使用用户较多的配置，可以实现较大范围的温度测试，也可配其它电表，作为一个纯粹的温度环境和磁环境用于其它测试。
双层样品座设计，底部为光学样品座，通过增加四探针加四接线柱样品座盖板实现探针样品座功能。接线柱支持增加探针，改造为六探针样品座，能同时满足霍尔巴样品和范德堡样品的测试。
装有调节支架，可调整恒温器竖直方向的位置。
磁铁移动装置可使永磁铁前后移动和翻转。
可快速打开样品室，更换样品。
液氮可以通过顶端的液氮补充口方便的灌装，补充液氮不会影响系统的控温。
恒温器带有液氮流量调节杆，可以用来调节恒温器的冷量。
与低温同轴电缆和三同轴/SMA接头配合使用，漏电流小于1pA@1V。
内置加热器和传感器与外部的控温仪配合实现低温恒温器的变温和控温。
PSM-PM系列探针台
PSM-PM室温有磁探针台可以为精密微小（纳米级）的微电子器件提供一个固定磁场的测试环境，通过显微镜将被测样品放大，用高精度微探针进行扎针，外部连接快速霍尔测量仪可进行霍尔测试和分析。
Adgarde PSM-PM室温有磁探针台为8英寸待测样品、器件提供了一个垂直磁场环境。外部连接其他电测仪表可在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏电学测试，比如不同磁场下电流、电压、电 阻等电学信号等。
稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移
样品座可以放置8英寸的晶圆样品，采用多孔分
区控制气体吸附固定。
能自动控制永磁铁的前后运动和N.S极翻转，并且能精准定位，磁场大小0.6T
可安装6个探针臂
探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微
调操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针可以扎到样品的任意位置。
探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在
100fA以内
CCD放大倍数为180倍，工作距离为100mm
PSM-EM系列探针台
PSM-EM室温有磁探针台可以为精密微小（纳米级）的微电子器件提供一个变磁场的测试环境，通过显微镜将被测样品放大，用高精度微探针进行扎针，外部连接快速霍尔测量仪可进行霍尔测试和分析。
Adgarde PSM-EM室温有磁探针台为8英寸待测样品、器件提供了一个垂直磁场环境。不仅可以完成永磁铁探针台所能完成的测试，并且可以为样品测试提供一个可变磁场，磁场较强，磁场均匀区较大。此款探针台专门为在测量过程中需要连续磁场变化的实验设计，在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。
稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移。
样品座可以放置8英寸的晶圆样品，采用多孔分区控制气体吸附固定
能自动控制电磁铁的前后运动，并且能精准定位，磁场0.6T
可安装6个探针臂
探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针可以扎到样品的任意位置
探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头漏电流小，在100fA以内
CCD放大倍数为180倍，工作距离为100mm
变温变场霍尔效应测试系统
此系统可在电磁场、液氮高低温环境78K-700K（AOV-ST提供)对样品进行快速霍尔效应测试，为样品提供一个变温变磁的环境，以获取样品的霍尔参数，包含待测样品的电阻率、霍尔电压、霍尔系数、载流子浓度、霍尔迁移率和载流子类型等。
变温变场霍尔效应测试系统用于快速测试样品的霍尔效应参数，系统各组件功能如下：
霍尔效应测试仪主要实现对待测样品提供激励信号并对测试数据进行采集、处理。
电磁铁、电磁铁电源和高斯计是提供测试磁场环境的重要组件，通过PID算法快速实现预设磁场值；通过反向电流控制，快速实现样品附近空间近零磁场环境。
AOV-ST液氮高低温恒温器选件为样品提供78K-800K高低温测试环境，实现变温霍尔测试。4探针样品座可满足范德堡样品的霍尔测试。
室温屏蔽盒为样品提供室温测试环境，提供多种室温样品卡，满足各种规格的样品的霍尔测试。
通过滑轨可快速切换低温恒温器与室温屏蔽盒，可快速切换样品或更换样品环境。
标准组件
霍尔效应测试仪一台
样品测试组件，包括接线盒、样品卡、AOV-ST液氮高低温恒温器及室温屏蔽盒
电磁铁组件一套，包括电磁铁、电磁铁支架、电磁铁电源、高斯计和高斯计探头
样品测试组件固定位移系统一套，包括测试组件滑轨以及测试组件固定座
测试系统一套，包括电脑一体机和测试软件
机柜一套（含PDU电源插排），用于方置快速霍尔测试仪、高斯计、电磁铁电源、温控仪、电脑一体机
多通道自动化霍尔测试系统
多通道自动化霍尔测试系统能够为多电极圆柱型晶锭、D型晶锭和大型晶圆片提供一个变磁的环境（可提供液氮单点温度），搭配M91快速霍尔测试系统，能够准确测得低迁移率材料的电学性能，可在电磁场、液氮低温环境（77K）下，对多种类型样品进行快速自动化测试，以获取样品的霍尔参数，包含待测样品的电阻率、霍尔电压、霍尔系数、载流子浓度、霍尔迁移率和载流子类型等，填补传统的霍尔测试仪器只能测量制备成型后样品的空白。
一键控制32电极样品自动切换测试和数据分析（电极数量可定制）
一键控制磁场大小调节
一键控制样品自动化进样
标配电阻测量范围：10mΩ~10MΩ，可升级高阻测试：10mΩ~100GΩ
搭配成熟稳定且易于集成的PCI矩阵开关，解决了样品测试过程中频繁且重复的手动切换电极的问题
通过系统软件精确控制矩阵开关的通断，可实现样品霍尔效应参数的自动化测试，具有高可靠性、准确性和可重复性
