PSM-EM系列手动电磁铁探针台
Adgarde 室温磁场探针台（PSM-EM-4）不仅可以完成永磁铁探针台所能完成的测试，并且可以为样品测试提供一个可变磁场，磁场较强，磁场均匀区较大。此款探针台专门为在测量过程中需要连续磁场变化的实验设计，在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。（我们可定制PSM-EM-4、6、8寸探针台）
稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移。
样品座可以放置8英寸的晶圆样品
能自动控制电磁铁的前后运动和N.S电极方向的转变，并且能精准定位
可安装6个探针臂
探针臂设置了粗调、微调和360度自由旋转，结合样品座的移动可以扎到样品的任意位置。
探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内
CCD放大倍数为180倍，大工作距离为100mm
滑台和样品座均采用真空吸附固定。
参数和指标
样品座
卡盘尺寸 2/4/6/8英寸，可定制
材质 无氧铜镀金
样品固定方式 多孔吸附
滑台
X-Y移动行程 X-±50mm，Y-±50mm
移动精度 10μm
探针臂
X-Y-Z移动行程 X-13mm，Y-13mm，Z-13mm
旋转度 360度自由旋转
移动精度 10μm
探针臂数量 可安装6个探针臂（左右两边各3个）
电学线缆 三同轴线缆
漏电流 100fA
探针类型 直流探针
光学系统
显微镜放大倍数 10-180倍
显微镜工作距离 90-100mm
CCD相机分辨率 3800万像素
电磁铁组件
磁铁型号 WDV-60W
磁场大小 高0.6T
磁铁间距 30mm
极柱直径60mm，标配一副50mm 纯铁极头
循环水冷却
可加选件
屏蔽箱
直流探针
样品座
