PSM-4K-3T闭循环超导磁体探针台
PSM-4K-3T闭循环超导磁体低温探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个10K-325K，±3T的低温真空强磁场测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻、IV曲线、霍尔等参数检测，用于低温磁场环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。
特点
闭循环低温探针台，无需制冷剂
满足标准探针台全部测试功能加上垂直超导磁体测量
探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。探针臂可在X-Y-Z范围内进行位移调节，能满足2英寸的扎针测试
真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性
探针臂采用SMA接头和同轴电缆，漏电性能好，漏电流在100fA以内
独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏
