PSM-4K闭循环低温探针台

Adgarde室温真空探针台是一款专门针对4K低温电测环境开发的探针台，能够对2寸、4寸晶圆片进行重复非破坏性的标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量和RF测量。

特点

真空腔极限真空度能够达到10E-5 mbar，通过真空泵连接KF25法兰抽真空

样品座可以放置4 英寸的晶圆样品，能扎到样品上任意位置的器件，从而方便切换样品上任意不同位置的器件进行测试，无需破坏真空调整样品位置

标配4个直流探针臂，匹配阻抗50欧姆；探针臂可抬起，避免换样时样品与探针臂干涉

探针臂采用三同轴接头和同轴线缆，漏电流小，使用4200在真空1V激励条件下，漏电流在100fA以内

光学系统放大倍速可达180倍，并附有环形光源，便于透过光窗观察样品

标准配置

低温真空腔

真空腔通过O圈和KF法兰密封，极限真空度能够达到10E-4mbar见右图

真空腔包含真空外罩和防辐射屏，防辐射屏上安装温度传感器和加热器，用于实时监测防辐射屏温度并快速回温

可视窗口直径50mm，可以通过显微镜观察样品扎针情况

真空腔材质为无磁材料，能够有效减小外界的电磁干扰，从而大大减小测试时外界噪声对电测的干扰，提高测试的精度和稳定性

4英寸样品座

样品座标准大小为四英寸，可容纳4英寸样品，通过移动探针臂能够切换样品上任意不同位置的器件进行测试

样品座标配接地样品座，可选绝缘样品座、同轴样品座、三同轴样品座等种类

接地样品座材质为无氧铜镀金，有良好的导热和导电性能

样品座安装在样品座基座上，通过样品座基座上的温度传感器和加热器能够准确控制样品座温度

探针臂

标配4个直流探针臂，能安装6个探针臂，能够兼容升级为射频探针臂

探针臂上标配直流柔性探针，变温实验时在扎针状态下无位移

探针臂采用三同轴接头和同轴线缆，通过4200在真空下10V激励测试漏电流在100 fA以内，见右图漏电流数据

探针臂可以XYZ三轴位移，XY行程为100mm，Z轴行程为20mm移动精度为10um

探针臂和防辐射屏做热沉，探针臂上安装温度传感器，实时监测探针臂温度

探针臂的位移调节均在真空腔外操作，因此可以在不破坏真空的情况下切换样品上的不同器件进行测试，非常方便

光学系统

光学系统包括显微镜、显微镜支架、CCD相机和显示屏等组件构成可以对待测器件观测并放大

在显示屏上呈现显微镜带有LED环形光源，配合CCD相机，可以将待测器件放大10~180倍

CCD相机分辨率3800万像素，有拍照、录像等功能，可以将照片视频通过数据线传输到电脑端

可视分辨率可达3um以内，与市面上先进的探针台光学系统相当，见右图，测试方法采用1951分辨率测试靶

探针台样品温度控制

热沉

CPS-4K探针台热沉处理，为您提供一个可信任的平台。

探针热沉—CPS-4K探针台包括对其他热源的热沉处理。如果探针台没有做热沉处理，那么样品的温度就会高于样品座的温度，仅仅依靠样品座的温度传感器显示样品的温度会导致很大的误差。器件精确的表征依赖于要求知道器件的真实温度。为了避免探针臂的温度传递到样品上，探针臂和探针必须做热沉处理。

温度计—探针冷却到样品台的温度来减小待测样品的热载温度计分别放在样品台，探针臂防辐射屏上，来提供一个准确的控温环境。

探针补偿—热管理的探针臂意味着做变温实验时探针移动必须做热补偿，如果没有探针的热补偿，变温实验时就会产生明显的探针移动，可能导致探针离开接触点。

热沉设计—探针臂和防辐射屏之间做热沉，在降温时使探针臂温度和防辐射屏相当；探针和样品座做热沉，在降温时使探针和样品座温度相当，从而避免探针臂的温度影响样品温度；此外，接入探针台的电学引线也在防辐射屏附近做了热沉，避免增加样品座的热负载。

探针台选件

探针

Adgarde提供钨和铍铜两种材质的探针，其中钨探针更耐用，适合各种不同的接触面，硬度好，能刺穿氧化层；铍铜探针接触电阻更小，适用于和镀金电极的接触。

样品座

Adgarde提供各种类型的样品座可选，见下表：

名称	型号	尺寸	描述
接地样品座	LTSH-4-G	4 英寸	探针台标配样品座，样品座电学接地
绝缘样品座	LTSH-4-I	4 英寸	样品座表面绝缘，样品放置在样品座上时不会和地导通
同轴样品座	LTSH-4-C	4 英寸	样品表面电学绝缘，底部可加栅压；侧边带有 BNC 接头
三轴样品座	LTSH-4-T	4 英寸	样品表面电学绝缘，样品表面和接地之间有 Guard 保护层，从而降低漏电电流；侧边带有三同轴接头