多通道自动化霍尔测试系统
多通道自动化霍尔测试系统，MAS-M91-HALL （Multi channel Auto hall effect measurement System）可在电磁场、液氮环境（77K）下，对多电极圆柱型晶锭、D型晶锭和晶圆片等多种类型样品进行自动化测试，以获取样品的霍尔参数，包含待测样品的电阻率、霍尔电压、霍尔系数、载流子浓度、霍尔迁移率和载流子类型等，填补了传统的霍尔测试仪只能测量制备成型后样品的空白。
系统软件部分可以实现自动化控制霍尔测试、磁场大小和样品杆位移等，支持测试数据的导出。
多通道霍尔测试系统的特点
1、具有行业先进的快速霍尔效应测试功能和数据分析功能，大大降低测量时间；
2、矩阵开关实现测试电极之间自由切换、选择，适用于多电极样品；
3、可定制电磁铁能够实现大的磁场均匀区，适用于大样品；
4、具有0.1T ~ 1T宽范围磁场调节区间和精确、快速零磁场控制功能；
5、具有自动进样功能，可支持重达1kg待测样品自动化进样；
6、多种样品卡可选，可测圆柱型晶锭、D型晶锭、晶圆片（6寸、4寸和2寸）等各形各尺寸样品；
7、具有数据采集、整理、分析、输出功能，同时具备报告定制和导出功能；
多通道霍尔测试系统的组成与功能
1、霍尔测试系统
2、磁场控制系统
3、样品杆运动控制系统
4、矩阵开关电极选择系统
5、液氮低温样品槽
6、样品卡测试组件
矩阵开关电极选择系统
PCI矩阵开关可以控制信号流向，是实现自动化测试的关键，可切换样品的不同电极进行霍尔测试， 多可支持32电极自动切换测试。
矩阵开关采用4通道设计，其中两个通道采用1切16路设计，另外两个通道采用1切4路设计。能够对多40个电极的样品选取其中的4个电极进行范德堡法测试。可根据客户样品电极数量和具体测试方法定制不同的矩阵开关。
霍尔系统选件
1、可根据客户样品电极数量定制矩阵开关；
2、可根据客户样品大小定制样品卡和液氮样品槽；
3、可根据客户需要定制不同磁场强度、均匀区的电磁铁；
4、水冷机（推荐制冷量4kw左右，流量30L/min以上）
5、液氮杜瓦和保温杯
各设备连接示意图
多通道霍尔测试系统的测控软件
多通道霍尔测试系统的测试软件
1、测试软件能够实现功能：
2、磁场控制
3、运动控制
4、样品种类和电极选择
5、四线法电阻测试
6、欧姆接触检查
7、电阻率测试
8、霍尔测试
样品杆位移控制界面
标准测试序列
四线法测电阻
DC霍尔测试D型晶锭，激励电流50mA
DC霍尔测试圆柱型晶锭，激励电流50mA
FastHall测试2英寸晶锭，激励电流10mA
FastHall测试4英寸晶锭，激励电流10mA
FastHall霍尔测试6英寸晶锭，激励电流10mA
FastHall测试圆柱型晶锭，激励电流50mA
FastHall测试D型晶锭，激励电流50mA
自定义测试序列
电极测试选择
自定义测试序列
数据报告
产品订购信息
多通道自动化霍尔测试系统包含以下组件：
| 名称 | 数量 | 描述 |
| 快速霍尔测量仪 | 1台 | 实现对待测样品提供激励信号并对测试数据进行采集、处理。 |
| 电磁铁组件及配套设备 | 1套 | 包括电磁铁、电磁铁电源、电磁铁支架，为测试环境提供均匀磁场 |
| 样品杆位移组件 | 1套 | 包括X、Z两轴位移电机、支架和伺服电机控制器，实现样品杆的水平和垂直方向的位置移动、精确定位 |
| 高斯计组件 | 1套 | 包括高斯计及高斯探头，监测电磁铁产生的磁场强度，并反馈到系统软件 |
| PCI矩阵开关组件 | 1台 | 通过系统软件程序控制PCI矩阵开关实现测量样品的电极切换和连通 |
| 屏蔽接线盒及配套线缆 | 1套 | 用于转接低温电缆或常温三同轴测试电缆，屏蔽环境电磁噪声，保证测试准确性和可靠性 |
| 显示器 | 1台 | 进行测量操作和显示结果 |
| 工控机 | 1台 | 装有测试软件，用于硬件与软件的连接，其中测试软件包括控制样品测试组件位移和M91霍尔效应测试、矩阵开关控制和磁场强度控制的软件。 |
| 机柜 | 1个 | 用于放置设备组件 |
| 低温液氮槽 | 1个 | 用于提供液氮环境 |
